Повышение эффективности доводки и полирования пластин интегральной оптики
Гашев Евгений Анатольевич. Повышение эффективности доводки и полирования пластин интегральной оптики: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.02.07 / Гашев Евгений Анатольевич;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П.А. Соловьева»], 2018