Введение
ГЛАВА 1. Технология и техника разрезания слитков и заготовок из хрупких неметаллических материалов. цель и задачи исследований 14
1.1. Место операции разрезания в современных технологических процессах изготовления изделий из хрупких неметаллических материалов 14
1.2. Технология и техника разрезания слитков и заготовок из хрупких неметаллических материалов на пластины 21
1.2.1. Многолезвийное разрезание 22
1.2.2. Разрезание бесконечной ленточной пилой 26
1.2.3. Разрезание абразивом с помощью проволоки 29
1.3. Разрезание слитков и заготовок из хрупких неметаллических материалов алмазными отрезными кругами с наружной режущей кромкой 32
1.4. Разрезание заготовок на пластины алмазными отрезными кругами с внутренней режущей кромкой 38
1.5. Способы повышения эффективности разрезания отрезными кругами АКВР 50
1.6. Выводы. Цель, задачи исследований 71
ГЛАВА 2. Теоретико-экспериментальное исследование процесса разрезания заготовок алмазными отрезными кругами 74
2,1. Математическая модель формирования параметров качества пластин на операции разрезания заготовок кругами АКВР 74
2.1.1. Формирование прогиба пластин 74
2.1.2. Математическая модель формирования нарушенного слоя на операции разрезания слитков кругами АКВР 75
2.2. Аналитическое решение задачи теплообмена при разрезании неметаллических заготовок отрезными кругами АКВР 87
2.3. Численное решение задачи теплообмена при разрезании неметаллических заготовок отрезными кругами АКВР 105
2.4. Численное моделирование тепловой напряженности
процесса разрезания с применением устройств активации 118
2.5. Выводы 126
ГЛАВА 3. Методика проведения экспериментальных исследований. научная аппаратура и оборудование 128
3.1. Показатели эффективности процесса разрезания 128
3.2. Контролируемые параметры. Методы и средства измерения 128
3.3. Условия проведения исследований и техника эксперимента .129
3.4. Метрологическая оценка показателей эффективности процесса разрезания 136
3.5. Планирование экспериментов, состав и количество опытов 138
ГЛАВА 4. Исследование технологической эффективности операции разрезания заготовок из полупроводниковых и диэлектрических материалов. Опытно-промышленные испытания 143
4.1. Влияние состава и способа подачи СОТС на микро и макрогеометрию пластин и производительность разрезания заготовок кругами АКВР 143
4.2. Исследование влияния наложения УЗ-колебаниЙ на заготовку на качество отрезанных пластин и производительность операции разрезания кругами АКВР 154
4.3. Исследование влияния наложения УЗ-колебаниЙ на заготовку на производительность разрезания и качество отрезанных пластин при одновременной подаче аэрозоли перед
зоной резания 158
4.4. Опытно-промышленные испытания технологии разрезания заготовок из хрупких неметаллических материалов кругами АКВР с наложением УЗ-колебаний на заготовку и подачей в зону резания аэрозоли 160
4.5. Источники и методика расчета экономической эффективности 162
4.6. Выводы 166
Заключение 168
Библиографический список
