Повышение эффективности статистических методов контроля и управления технологическими процессами изготовления микросхем
Долгов, Алексей Юрьевич. Повышение эффективности статистических методов контроля и управления технологическими процессами изготовления микросхем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Приднестровский гос. ун-т им. Т. Г. Шевченко.- Москва, 2000.- 19 с.: ил. РГБ ОД, 9 00-5/1845-8
