Введение
Глава 1. Состояние вопроса, цель и задачи исследования 7
1.1. Общие сведения и теория разрушения хрупких неметаллических материалов. 7
1.2. Технические требования и особенности, предъявляемые к изготовлению пьезокварцевых пластин. 15
1.3. Состояние серийной технологии механической обработки кварцевых пластин. 20
1.4. Анализ опубликованных исследований по качеству поверхности и механической обработке пластин из хрупких неметаллических материалов.
1.5. Существующие методы по выбору оптимальных характеристик инструмента и режимов обработки пластин из хрупких неметаллических материалов.
1.6. Выводы. Цель и задачи исследования. 39
Глава 2. Моделирование процесса плоского алмазного шлифования деталей из хрупьсих ю неметаллических материалов .
2.1. Параметры процесса плоского алмазного шлифования. 42
2.2. Кинематика движения алмазного зерна. 44
2.3. Моделирование и фазы работы единичного зерна. 47
2.4. Моделирование работы группы зёрен. 50
2.5. Условия диспергирования поверхности хрупких неметаллических материалов. Выводы.
Глава 3. Исследование влияния вида обработки и характеристик алмазно-абразивных инструментов на параметры качества поверхностного слоя
3.1. Особенности шлифования кварца алмазными кругами и алмазно-абразивными суспензиями.
3.2. Методика проведения экспериментальных исследований 60
3.3. Влияние вида алмазно-абразивной обработки на шероховатость поверхности кварцевых пластин. 71
3.4. Исследование нарушенного слоя на пластинах при алмазном шлифовании суспензиями и кругами. 85
3.5. Влияние режимов шлифования кварцевых пластин алмазными кругами на глубину нарушенного слоя. 95
3.6. Выводы. 101
Глава 4. Оценка работоспособности и выбор характеристик алмазных кругов при шлифовании хрупких неметаллических материалов .
4.1. Постановка задачи. 103
4.2. Методика экспериментальных исследований . 109
4.3. Исследование характеристик рельефа режущей поверхности алмазных кругов. 113
4.4. Исследование влияния изменений характеристик режущей поверхности алмазных кругов на их работоспособность и ^, шероховатость обрабатываемой поверхности.
4.5. Выводы. 146
Глава 5. Выбор оптимальных режимов алмазного шлифования кристаллографически ориентированных пластин .
5.1. Постановка задачи. 149
5.2. Параметрическая оптимизация режимов алмазного шлифования кварца. 153
5.3. Алгоритм и методика выбора характеристик инструмента и режимов алмазного шлифования. 163
5.4. Эффективность шлифования кристаллографически ориентированных пластин алмазными кругами.
5.5. Технико-экономическая эффективность 172
5.6. Выводы 173
Общие выводы и результаты 175
Список литературы 178
Приложение 185
