Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов
Гоник, Марк Михайлович. Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06 / Гоник Марк Михайлович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Москва, 2011.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/2366