Введение
Глава I. Наведение зарядов и токов поверхностными распределениями заряда и потенциала в системе проводников произвольной конфигурации 12
. I.I. Постановка задачи 13
1.2. Вывод основных соотношений 14
1.3. Токи, наведенные в проводниках поверхностным распределением заряда 21
1.4. Токи, наведенные в проводниках поверхностным распределением потенциала 33
1.5. Основные результаты , 37
Глава 2. Исследование метрологических свойств электростатических систем 38
2.1. Зондирующее поле. Аппаратные функции зондовых систем 38
2.1.1. Зондирующее поле системы для измерения поверхностных зарядов. Аппаратные функции 39
2.1.2. Зондирующее поле системы для измерения поверхностного потенциала. Аппаратные функции 52
2.2. Коэффициенты передачи измерительных систем 62
2.2.1. Коэффициенты передачи линейных измерительных систем 62
2.2.2. Коэффициенты пространственного преобразования по заряду и потенциалу 66
2.2.3. Коэффициенты передачи параметрических линейных измерительных систем 78
2.3. Основные результаты 87
Глава 3. Разрешающая способность электростатических зондовых систем 89
3.1. Разрешающая способность в режиме большого сигнала 89
3.2. Исследование влияния поверхностных неров ностей носителя на разрешающую способность в режиме малого сигнала 97
3.2.1. Разрешающая способность линейной зондо-вой системы для измерения заряда с учётом влияния случайных микронеровностей поверхности носителя 98
3.2.2. Разрешающая способность линейной зон-довой системы для измерения потенциала с учётом влияния случайных микронеровностей поверхности носителя 118
3.3. Основные результаты 127
Глава 4. Оптимизация электростатических зондовых систем с помощью коррекции 129
4.1. Компенсационный метод измерения 129
4.2. Синтез электростатической зондовой системы с заданным коэффициентом передачи 133
4.3. Восстановление поверхностного распределения заряда (потенциала) по отклику измеритель ной системы 139
4.4. Основные результаты 145
Глава 5. Экспериментальное исследование закономерностей преобразования поверхностных распределений заряда и потенциала в электрический сигнал .147
5.1. Исследование поверхностных распределений з аряда на диэлектрических слоях ^48
5.1.1. Методика измерения поверхностного заряда 149
5.1.2. Обсуждение результатов экспериментального исследования 150
5.2. Исследование поверхностных распределений заряда на плоских фотополупроводниковых слоях 59
5.2.1. Методика измерения поверхностного з аряда 159
5.2.2. Обсуждение результатов эксперимента .162
5.3. Исследование поверхностных распределений потенциала ..169
5.4. Определение метрологических параметров зондовых систем с помощью электростатических моделей 1^3
5.5. Основные результаты 185
Заключение 186
Литература
