Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы
Колпаков, Всеволод Анатольевич. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич; [Место защиты: Сам. гос. аэрокосм. ун-т им. С.П. Королева].- Самара, 2010.- 278 с.: ил. РГБ ОД, 71 10-1/274
