Введение
ГЛАВА I. Основные результаты экспериментального и теоретического исследования закономерностей каналирования заряженных частиц в кристаллах 9-50
1.1. Общие сведения о каналировании и эффекте теней 9- 13
1.2. Континуумная модель 13-18
1.3. Критические параметры каналирования 18 - 28
1.4. Потери энергии и деканалирование 28 - 36
1.5. Влияние дефектов кристалла на каналирование 36 - 40
1.6. Методика типичных экспериментов по изучению
эффектов каналирования и теней 40 - 45
1.7. Изучение каналирования с помощью точечного альфа-источника 45-50
ГЛАВА II. Описание экспериментальной.установки и техники эксперимента 51-98
2.1. Изготовление точечных альфа-источников 51 - 58
2.2. Изготовление тонких образцов монокристалла кремния 58-63
2.3. Отжиг кристаллов. Отбор образцов для исследования 63 - 67
2.4. Конструкция экспериментальной камеры 67 - 70
2.5. Техника получения каналограмм при различных температурах кристалла 71 - 76
2.6. Определение оптимальных условий проявления канал ограмм. Построение и анализ характеристических кривых почернения 76 - 82
2.7. Индицирование каналограмм 82 - 86
2.8. Методы изучения каналограмм 86 - 98
ГЛАВА III. Изучение закономерностей каналирования альфа-частиц в кремнии с спользованием каналограмм, полученных при комнатной температуре 99 - 153
3.1. Качественное описание каналограммы 99 - 104
3.2. Исследование геометрических параметров каналов 104 - 116
3.3. Влияние качества кристаллов на параметры каналограмм 116 - 123
3.4. Изучение угловых характеристик плоскостного каналирования альфа-частиц в кремнии 123 - 133
3.5. Изучение высоты и площади пиков плоскостного каналирования в зависимости от эффективной толщины кристалла 133 - 137
3.6. Оценка длины пробегов альфа-частиц в режиме плоскостного каналирования 137 - 143
3.7. Определение отношения вероятностей деканалиро-вания и захвата альфа-частиц в плоскостных каналах кремния 143 - 144
3.8. Изучение закономерностей осевого каналирования 144 - 151
3.9. Некоторые результаты по наблюдению каналирования в высокоиндексных осевых и плоскостных каналах 151 - 153
ГЛАВА ІV. Исследование температурных закономерностей каналирования альфа-частиц в плоскостных каналах кремния 154 - 186
4.1. Влияние температуры кристалла на основные параметры низкоиндексных линий 155 - 161
4.2. Изучение температурных закономерностей каналирования в узких каналах. Открытие и закрытие каналов 161 - 167
4.3. О возможном влиянии междоузельных атомов на каналирование 168 - 170
4.4. Влияние анизотропии тепловых колебаний на температурное закрытие узких каналов 170 - 179
4.5. Определение критических параметров каналирования в узких плоскостных каналах кремния 179 - 183
Заключение 184 - 186
Литература
