Введение
1. Состояние и перспективы использования тонких пленок в конструкциях электроозонаторов 7
1.1. Использование озона в промышленном производстве 7
1.2. Способы производства озона и аэроионов 11
1.3. Методы определения концентрации озона и аэроионов 13
1.4. Использование тонкопленочных датчиков в системах измерения и автоматизации 17
1.5. Технология производства тонкопленочных датчиков 23
1.6. Задачи исследования тонкопленочных конструкций в электроозонаторах 27
2. Электрофизические процессы при синтезе озона 28
2.1. Современная теория образования озона и аэроионов электрическим полем высокой напряженности 28
2.2. Основные соотношения между электрическими величинами и производительностью озонатора 32
2.3. Влияние тепла на производительность озонатора 37
2.4. Магнитное поле и распределение параметров плоской катушки с током 40
2.5. Электрические параметры рабочей камеры с электродом в форме плоской катушки 46
Выводы по главе 2 54
3. Тепловые процессы в электроозонаторах 56
3.1. Теплообмен между тонкой пленкой и газовой средой 56
3.2. Первичный преобразователь в свободном газовом потоке 63
3.3. Работа первичного преобразователя скорости с одномерным газовым потоком в режиме постоянной подводимой мощности 65
3.4. Работа первичного преобразователя скорости с одномерным газовым потоком в режиме переменной подводимой мощности 68
3.5. Теплообмен в разрядной камере озонатора 72
3.6. Датчик скорости одномерного газового потока 76
Выводы по главе 3 82
4. Эксгшриментальные исследования распределения электрического заряда в газовом потоке 83
4.1. Методика определения содержания озона в воздушной ионно-озонной смеси 83
4.2. Влияние положения датчика на скорость нарастания заряда 86
4.3. Влияние площади поверхности датчика и напряжения на электродах озонатора на скорость нарастания заряда 91
4.4. Влияние формы высоковольтного электрода на скорость нарастания заряда на датчике и на электрические параметры электроозонатора 95
4.5. Распределения напряженности магнитного поля плоской катушки 100
4.6. Сопоставление предложенного метода определения концентрации озона в воздушной ионно-озонной смеси с традиционным 102
Выводы по главе 4 105
Общие выводы 107
Литература 109
