Применение высокоэнергетичных электронов в технологии силовых кремниевых приборов для улучшения их динамических и статических параметров
Коновалов Михаил Павлович. Применение высокоэнергетичных электронов в технологии силовых кремниевых приборов для улучшения их динамических и статических параметров : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Москва, 2005 154 с. РГБ ОД, 61:06-5/200