Введение
ГЛАВА 1. Зеркальное и диффузное рассеяние рентгеновских лучей в условиях скользящего падения (обзор) 10
1.1. Рентгеновская рефлектометрия многослойных структур 10
1.2. Рентгеновская рефлектометрия пористых структур 15
1.3. Обратная задача метода рентгеновской рефлектометрии 17
1.4. Диффузное рассеяние рентгеновских лучей 19
ГЛАВА 2. Теория зеркального отражения от многослойных структур с шероховатыми межслойными границами 29
2.1. Модифицированные рекуррентные соотношения Парратта 29
2.1.1. Отражение от отдельной границы раздела 29
2.1.2. Отражение от многослойной структуры 31
2.2. Матричные соотношения для коэффициента отражения от слоев с шероховатыми межслойными границами 35
2.3. Зеркальное отражение рентгеновских лучей от структур с произвольным изменением плотности по глубине 37
2.4. Выводы 41
ГЛАВА 3. Обратная задача рентгеновской рефлектометрии 42
3.1. Методы минимизации оценочной функции 42
3.1.1. Метод градиентного спуска 43
3.1.2. Метод Ньютона 44
3.1.3. Метод Левенберга-Маркардта 45
3.2. Оптимизация метода решения обратной задачи 46
3.2.1. Аналитические соотношения для градиента оценочной функции 46
3.2.2. Снижение числа параметров модели 48
3.3. Тестирование метода на модельных структурах 49
3.4. Экспериментальная проверка метода восстановления распределения плотности по глубине 52
3.4.1. Исследования пленок W и С на подложках Si 53
3.4.2. Сравнение с независимыми данными 56
3.5. Применение метода для исследования пористых слоев и многослойных структур 59
3.5.1. Исследование пористых слоев Si 59
3.5.2. Слои пористого GaAs 65
3.5.3. Слои пористого GaP 71
3.5.4. Гетерокомпозиции на основе GaAs с квантовыми точками 75
3.5.5. Многослойные структуры W/C 80
3.6. Выводы 82
ГЛАВА 4. Диффузное рассеяние от структур с поверхностными и объемными неоднородностями 83
4.1. Модифицированное приближение DWBA 83
4.1.1. Зеркальное отражение 85
4.1.2. Диффузное рассеяние 86
4.2. Диффузное рассеяние в различных моделях объемных неоднородностей приповерхностного слоя 87
4.2.1. Цилиндрические включения (поры) вдоль нормали к поверхности 88
4.2.2. Цилиндрические поры вдоль падающего пучка 88
4.2.3. Цилиндрические поры перпендикулярно падающему пучку вдоль поверхности 89
4.2.4. Неупорядоченные и частично упорядоченные сферические поры 90
4.2.5. Рассеяние на шероховатостях поверхности 91
4.3. Обработка данных по диффузному рассеянию от пористых слоев GaAs и GaP 94
4.3.1. Пористые слои GaAs 94
4.3.2. Пористые слои GaP 94
4.4. Приложения 96
4.5. Выводы 97
Основные результаты и выводы 98
Список литературы . 100
