Процеси формування тонких дiелектричных та приповерхневих напiвпровiдникових шарiв у кремнiевих структурах при нерiвноважних впливах
Назаров, Алексей Николаевич. Процеси формування тонких дiелектричных та приповерхневих напiвпровiдникових шарiв у кремнiевих структурах при нерiвноважних впливах : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10.- Киев, 1993.- 29 с.: ил.