Процессы массопереноса при зонной сублимационной перекристаллизации кремния с использованием микроразмерной ростовой ячейки
Валов, Георгий Владимирович. Процессы массопереноса при зонной сублимационной перекристаллизации кремния с использованием микроразмерной ростовой ячейки : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Валов Георгий Владимирович; [Место защиты: Кубан. гос. ун-т].- Краснодар, 2013.- 163 с.: ил. РГБ ОД, 61 14-1/489
