Процессы роста на чистой и модифицированной бором поверхности кремния
Коробцов Владимир Викторович. Процессы роста на чистой и модифицированной бором поверхности кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07.- Владивосток, 2002.- 226 с.: ил. РГБ ОД, 71 02-1/326-8