Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники
Конаков Степан Андреевич. Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Конаков Степан Андреевич;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»], 2018.- 240 с.