ОГЛАВЛЕНИЕ
Оглавление ....................................................................................................................... 2
Введение ........................................................................................................................... 5
1. Обзор устройств, методов и программных комплексов зондовых измерений 14
1.1. Производство интегральных схем ................................................................... 14
1.2. Устройства зондового контроля ...................................................................... 16
1.3. Методы анализа данных ................................................................................... 21
1.4. Программное обеспечение ............................................................................... 25
1.4.1. Специализированное программное обеспечение для автоматизации
измерений ............................................................................................................... 26
1.4.2. Программное обеспечение для автоматизации зондовых измерений . 30
1.4.3. Программное обеспечение для анализа и обработки данных
измерений ............................................................................................................... 32
1.5. Формализация технологического процесса зондового контроля ................ 33
1.6. Выводы по главе ................................................................................................ 35
2. Предложенные алгоритмы ..................................................................................... 37
2.1. Метод хранения данных измерений ................................................................ 37
2.1.1. Анализ файлового подхода к хранению данных ................................... 37
2.1.2. Структура проектов пластины в формате XML .................................... 39
2.1.3. Новая модель файла измерительного проекта пластины СWMP ........ 40
2.2. Алгоритм выравнивания пластины ................................................................. 43
2.2.1. Ручное выравнивание по 2м точкам. ...................................................... 44
2.2.2. Автоматический поиск натренированных меток совмещения ............ 45
2.2.3. Поиск базового среза по всему изображению пластины. ..................... 45
2.2.4. Выравнивание на основе Фурье преобразований изображения
пластины................................................................................................................. 48
3
2.2.5. Алгоритм выравнивания на основе линейной регрессии группы точек 49
2.3. Метод коррекции искривления линейных направляющих ........................... 54
2.4. Алгоритмы автоматизации зондовых измерений .......................................... 59
2.5. Выводы по главе ................................................................................................ 65
3. Реализация программы и инфраструктура системы ........................................... 66
3.1. Методология проектирования ......................................................................... 66
3.2. Требования и постановка задачи ..................................................................... 67
3.3. Выбор архитектурных решений ...................................................................... 68
3.3.1. Выбор программной платформы ............................................................. 69
3.3.2. Архитектура сетевого взаимодействия .................................................. 69
3.3.3. Обеспечение безопасности транспортной системы .............................. 73
3.4. Клиентский модуль ........................................................................................... 74
3.5. Модуль базы данных ICC Environment ........................................................... 76
3.6. Модуль создания карт раскроя ICC WaferMapper ......................................... 78
3.7. Модуль зондовых измерений ICC ProMeas4 .................................................. 85
3.7.1. Назначение ................................................................................................. 85
3.7.2. Подсистема автоматизации измерений .................................................. 86
3.8. Модуль Анализа данных измерений ICC CuPrUm ........................................ 91
3.9. Выводы по главе .............................................................................................. 101
4. Описание практического применения ................................................................ 102
4.1. Применение программного модуля зондовых измерений в связке с полуавтоматической зондовой станцией Terra-200 ............................................. 102
4.2. Внедрение программного комплекса в процесс АО «НИИПП» ................ 105
4.3. Выводы по главе .............................................................................................. 109
5. Заключение ............................................................................................................ 110
Список литературы ..................................................................................................... 112
Приложение А ............................................................................................................. 117
4
Приложение Б .............................................................................................................. 118
Приложение В .............................................................................................................. 119
Приложение Г .............................................................................................................. 120
