Введение
Глава 1. Плазма в электроотрицательных газах .
1.1. Обзор литературы.
1.2. Элементарные процессы, происходящие в тлеющем разряде в кислороде .
1.3. Система уравнений баланса, постановка и вывод граничных условий.
1.4. Методы решения
1.5. Искажения при зондовых измерениях в электроотрицательных газах.
Глава 2. Параметры плазмы стационарного разряда в электроотрицательных газах .
2.1. Особенности пространственного распределения параметров стационарной разрядной плазмы в электроотрицательных газах.
2.2. Правила подобия для плазмы стационарного положительного столба разряда в электроотрицательных газах .
2.3. Сопоставление кинетического и гидродинамического подходов при моделировании плазмы положительного столба кислородного DC разряда.
Глава 3. Пространственные и временные характеристики эволюции параметров распадающейся плазмы электроотрицательных газов .
3.1. Эволюция профилей концентраций и потоков заряженных частиц при распаде плазмы электроотрицательных газов.
3.2. Диффузионный распад электроотрицательной плазмы при низких давлениях.
3.3. Влияние отлипания на диффузионный распад электроотрицательной плазмы низких давлений .
3.4. Динамика образования ион-ионной плазмы при импульсном режиме работы реакторов для плазменного травления.
Глава 4. Влияние пылевых частиц на функцию распределения электронов .
4.1. Основные скейлинги (законы подобия) для параметров пылевой плазмы.
4.2. Основные особенности формирования ФРЭЭ в газоразрядной плазме низкого давления .
4.3. Методы решения кинетического уравнения.
4.4. Влияние пылевых частиц на функцию распределения электронов. Выводы.
Цитированная литература.
