Радиационные дефекты межузельного типа и их влияние на электрическую активацию и диффузию имплантированных примесей в кремний
Челядинский, Алексей Романович. Радиационные дефекты межузельного типа и их влияние на электрическую активацию и диффузию имплантированных примесей в кремний : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10.- Минск, 2000.- 42 с.: ил.