Введение
Глава 1. Обзор литературы.
1.1. Влияние фазовых превращений I и II рода на эмиссию вторичных частиц.
1.1.1 . Температурная зависимость распыления ферромагнетиков 21
1.1.2. Влияние полиморфного превращения на распыления 26
1.1.3. Изменение с температурой вторичной ионной эмиссии
ферромагнитных материалов 28.
1.2. Особенности распыления поверхности твердых тел ионами химически активных газов 31
1.3 Формирование волнообразного рельефа на поверхности твердых тел при ионной бомбардировке .36
1.3.1. Экспериментальные результаты 38
1.3.2. Модели образования волнообразного рельефа 41
7.4. Постановка задачи 46
Глава 2. Описание экспериментальных установок и методик проведения экспериментов .
Введение 51
2.1. Измерение коэффициентов распыления.
2.1.1. Распыление гадолиния 51
2.7.1. Распыление кобальта 56
2.1.1. Распыление кремния и диоксида кремния 60
2.2. Исследование температурных зависимостей вторичной ионной эмиссии .
2.2.7. Экспериментальная установка I и методика проведения измерений 64
2.2.2. Экспериментальная установка II 69
2.3. Экспериментальные методы изучения приповерхностных слоев, модифицированных ионной бомбардировкой.
2.3.1. Послойный анализ приповерхностных слоев 76
2.3.2. Измерение состава поверхности с помощью РЭОС 77
2.3.3. Изучение химического состава поверхности методом РФЭС..19
2.3.4. Исследование приповерхностного слоя кремния с помощью
ИКФС 80
2.3.5. Исследование топографии и структуры поверхности 81
2.4. Экспериментальная установка для исследования взаимодействия ионов с поверхностью с in situ анализом методом Резерфордовского обратного рассеяния 83
2.5. Методика ионно-ассистированного осаждения покрытий и измерения их свойств .: 86
Заключение 89
Глава 3. Влияние фазовых переходов I и II рода на распыление нейтральных частиц.
3.1. Влияние фазового перехода I рода на распыление
возбужденных атомов.
3.1.1. Экспериментальные результаты 90
3.1.2. Обсуждение результатов 92
3.2. Влияние фазового перехода II рода на процесс распыления гадолиния.
3.2.1. Распыление поликристалла гадолиния вблизи точки Кюри 96
3.2.2. Влияние внешнего магнитного поля на температурную зависимость распыления гадолиния 98
3.2.3. Температурная зависимость распыления монокристалла гадолиния 100
3.3. Обсуждение результатов по изучению влияния магнитного фазового перехода на распыление гадолиния.
3.3.1. Коэффициенты распыления гадолиния в ферро-и парамагнитном состоянии 102
3.3.2. Оценка изменения коэффициентов распыления гадолиния при магнитном фазовом переходе 105
3.3.3. Особенности изменения распыления гадолиния вблизи точки Кюри 111
Заключение 114
Глава 4. Распыление заряженных частиц при фазовых переходах. Введение 116
4.1. Вторичная ионная эмиссия кобальта в области полиморфного превращения (экспериментальные результаты) 116
4.2. Вторичная ионная эмиссия при магнитном фазовом переходе (экспериментальные результаты).
4.1.1. ВИЭ никеля при бомбардировке поверхности ионами инертных газов. 119
4.1.2. Сравнение температурной зависимости ВИЭ никеля при бомбардировке поверхности ионами инертных и химически активных газов 124
4.1.3. ВИЭ сплава FeCoNi в области магнитного фазового перехода при бомбардировке поверхности ионами инертных газов 127
4.3. Обсуждение экспериментальных результатов
4.3.1. Изменение ВИЭ в области магнитного фазового перехода при бомбардировке поверхности ионами инертных газов ". 131
4.3.2. Изменение ВИЭ кобальта при полиморфном фазовом превращении 136
4.3.3. Поведение ВИЭ никеля вблизи точки Кюри 138
4.3.4. Влияние типа ионного пучка на ВИЗ никеля при магнитном фазовом переходе 140
Заключение 144
Глава 5. Процессы на поверхности, распыляемой ионами химически активных газов .
Введение 146
5.1. Распыление диоксида кремния ионами аргона и азота 147
5.1.1. Экспериментальные результаты 148
5.1.2. Механизмы распыления диоксида кремния 155
5.2. Изучение поверхностного слоя кремния, модифицированного облучением ионами азота 157
5.2.1. Исследование приповерхностного слоя кремния, облученного ионами азота, методом ВИМС 158
5.2.2. Изучение состава поверхности кремния, облученного ионами азота при различных углах падения, методом РЭОС 163
5.2.3. Определение химического состояния приповерхностного модифицированного слоя методом РФЭС 165
5.2.4. Исследование процесса формирования нитрида кремния методом ИКФС 167
5.2.5. Строение и состав модифицированного слоя кремния, облученного ионами азота 173
5.3. Различия в распылении кремния ионами аргона и азота 174
Заключение 177
Глава 6. Особенности формирования рельефа на поверхности кремния при бомбардировке ионами азота .
Введение 179
6.1. Угловой диапазон формирования волнообразного рельефа 179
6.2. Влияние исходной топографии на поверхности на процесс формирования волнообразного рельефа 181
6.3. Микроскопическая модель образования волнообразного рельефа , 186
6.4. Субмикронная модель эрозии 190
6.4.1. Скорость эрозии элемента поверхности 194
6.4.2. Уравнение субмикронной эрозии 196
6.4.3. Решение уравнения субмикронной эрозии и его анализ 198
Заключение 201
Глава 7. Использование распыления для получения поверхностных слоев с заданными свойствами .
Введение 202
7.1. Ионно-индуцированное фазообразование в системе Ni-Al 203
7.1.1. Методика проведения экспериментов 204
7.1.2. Экспериментальные результаты и их обсуждение 206
2. Ионно-ассистированное осаждение упрочняющих покрытий на
основе тройных нитридных соединений 212
7.2.1. Состав покрытий. 214
7.2.2. Структура покрытий.. 218
7.2.3. Микротвердость покрытий 221
Заключение 225
Приложение 229
Литература
