Введение
1. Компьютерное моделирование атомных траекторий 13
1.1. Потенциалы межатомного взаимодействия 13
1.2. Упругое и неупругое торможение .16
1.3. Методы компьютерного моделирования 18
2. Линзовая фокусировка ионных пучков в кристаллах 23
2.1. Фокусировка двухатомной линзой . 23
2.1.1. Плотность потока рассеянных ионов 25
2.1.2. Энергия двухатомной фокусировки 32
2.2. Фокусировка четырехатомной линзой 33
2.3. Фокусировка парой атомных цепочек 36
2.4. Численные расчеты. Обсуждение результатов 40
2.5. Основные выводы 48
3. Рассеяние ионов тонкими монокристаллами при ось-плоскостных переходах 49
3.1. Программа ASTRA 49
3.2. Угловые осцилляции коэффициента прозрачности 54
3.3. Модель резонансного деканалирования 61
3.4. Линзовая фокусировка ионов в тонком монокристалле 67
3.5. Обсуждение результатов 70
3.6. Основные выводы 75
4. Поверхностное каналирование атомов и молекул 76
4.1. Режимы поверхностного каналирования 76
4.2. Численный расчет энергии фокусировки полуканала 79
4.3. Рассеяние молекул цепочкой атомов 84
4.4. Рассеяние молекул поверхностным полуканалом 88
4.5. Экспериментальное определение энергии фокусировки полуканала 99
4.6. Определение ионно-атомных потенциалов из данных по отражению 103
4.7. Основные выводы 107
5. Рассеяние поверхностью тяжелых атомов, молекул и кластеров 108
5.1. Нелинейные эффекты при рассеянии тяжелых ионов 108
5.2. "Кулоновский взрыв" быстрых молекул при скользящем рассеянии 114
5.3. Торможение кластеров низких энергий в тонких пленках 123
5.4. Рассеяние и распыление кластеров при столкновении с поверхностью 132
5.5. Эффект двукратного рассеяния 140
5.6. Основные выводы 144
6. Распыление кристаллов ионной бомбардировкой 146
6.1. Программа OKSANA 146
6.1.1. Модель 146
6.1.2. Тестовые расчеты 150
6.2. Угловые закономерности распыления 156
6.2.1. Коэффициенты и эффективности распыления 156
6.2.2. Угловое распределение распыленных атомов 162
6.2.3. Механизмы преимущественного распыления 166
6.3. Корреляция распыления и ионно-фотонной эмиссии 171
6.4. Изотопические эффекты в распылении 183
6.5. Основные выводы 187
7. Распыление аморфных тел ионной бомбардировкой 190
7.1. Эффекты атомной плотности в распылении 191
7.1.1. Распыление Ge 194
7.1.2. Распыление различных мишеней 201
7.1.3. Угловые зависимости 205
7.2. Корреляция углового и энергетического распределений распыленных атомов 207
7.3. Соотношение между средней энергией распыленных атомов и коэффициентом распыления 210
7.4. Основные выводы 215
Заключение 217
Литература 221
