Введение
Глава 1. Обзор современных методов и средств межоперационного контроля качества изделий микроэлектроники (МЭ) на базе автоматизированных систем контроля (АСК) в условиях автоматизированного производства 11
1.1. Особенности контроля и испытаний изделий МЭ в ходе технологического процесса для повышения выхода годных 11
1.2. Основные методы и средства получения данных для анализа и контроля изделий МЭ
1.2.1. Применение растровой электронной микроскопии для получения планарной и качественной информации 22
1.2.2. Применение атомно-силовой микроскопии для получения 3D- информации 36
1.2.3.Применение вторичной ионнной микроскопии для получения псевдо 3D инофрмации 39
1.3. Постановка задачи диссертационного исследования 43
Выводы по главе 1 45
Глава 2. Формализованное представление непредвзятого 3D-рендеринга с целью повышения повышения достоверности анализа измерений при разбраковке изделий МЭ 47
2.1. Классификация алгоритмов рендеринга на основе геометрического представления объектов сцены 47
2.2. Физическая модель распространения света как основа формирования 3D-изображения 55
2.3. Математические основы повышения производительности непредвзятого 3D рендеринга с использовнием иерархии ограничивающих объемов
2.3.1. Смешанные структуры. Обновление ускоряющей структуры 60
2.3.2. Особенности использования архитектурных концепций в ходе построения и траверса ускоряющих структур 61
2.3.3. Дополнительные способы повышения производительности непредвзятого 3D рендеринга 62
2.3.4. Адаптивный подход к построению и траверсу ускоряющей структуры – “непредвзятый 3D рендеринг без ускоряющей структуры” 64
2.4. Математическая оценка функции качества осушествления непредвзятого 3D рендеринга 65 Выводы по главе 2 74
Глава 3. Исследование и разработка алгоритмов и методики непредвзятого 3D рендеринга с интеграцией ускоряющих структур для распараллеливания процессов
3.1. Разработка методики получения 3D-изображения изделий МЭ в ходе технологического процесса 75
3.2 Особенности алгоритма трассировки лучей по методу Монте-Карло 80
3.3. Разработка модифицированного алгоритма трассировки лучей для получения 3D сцены на основе двумерного и одномерного сигналов 83
3.4 Разработка алгоритма формирования ускоряющей структуры для трассировки лучей
при получении 3D-сцены 88
Выводы по главе 3 96
Глава 4. Программная реализация разработанных методики и алгоритмов в виде комплекса программных средств (КПС)с использованием графического процессора многопоточной архитектуры 98
4.1. Определение архитектурных ограничений графического процессора и соответствующих параметров разрабатываемого КПС 99
4.2. Разработка структурной схемы процесса межоперационного контроля при разбраковке изделий МЭ с применением методики 3D-рендеринга 104
4.3. Разработка структуры КПС в составе АСК при технологическом процессе производства изделий МЭ 106
4.4. Экспериментальные исследования эффективности применения КПС на основе оценки среднеквадратичного отклонения критических параметров изделий МЭ 108
Выводы по главе 4 113
Заключение 114
Список литературы: 116
