Введение
1. Обзорно-аналитические исследования пьезоэлектрических приводов и САПР 9
1.1 Схемы пьезоэлектрических приводов 9
1.2 Морфологический анализ пьезоэлектрических приводов 19
1.3 Особенности автоматизированного проектирования вакуумных пьезоэлектрических приводов 24
1.4 Постановка задачи исследования 27
2. Теоретический подход к решению задачи создания автоматизированной системы проектирования пьезоэлектрических приводов 29
2.1 Понятие о выборе вариантов пьезоэлектрических приводов 29
2.2 Формы интегрального критерия 34
2.3 Аналитическая процедура Саати 37
2.4 Обобщенный критерий оценки качества пьезоэлектрических приводов42
3. Математическая модель автоматизированной системы проектирования 52
3.1 Структура модели сложных процессов в пьезоэлектрических приводах. 52
3.2 Вероятностная оценка работоспособности и ее общий запас в детали ... 58
3.3 Физические представления о природе сухого трения в вакууме 60
3.4 Закономерности процесса газовыделения при трении сопряженных тел в пьезоэлектрическом приводе 63
3.5 Энергетический баланс в зоне контакта деталей 71
3.6 Расчёт опорных узлов пьезоэлектрического привода 87
3.7 Расчёт скорости движения выходного звена пьезоэлектрического привода 88
3.8 Расчёт элементов пьезоэлектрического привода на привносимый уровень загрязнения 92
3.9 Расчёт эффективного коэффициента трения в зоне контакта выходного звена и упругой пластины 97
4. Экспериментальные исследования пьезоэлектрических приводов 99
4.1 Характеристика пьезоэлектрического привода 99
4.2 Исследование динамических параметров пьезоэлектрического привода . 105
4.3 Исследование кинематических характеристик пьезоэлектрического привода 108
4.4 Исследование силовых характеристик пьезоэлектрического привода. 111
4.5 Вакуумная установка для исследования работоспособности пьезоэлектрического привода в вакууме 115
4.6 Результаты экспериментальных исследований 120
5. Разработка перспективных пьезоэлектрических приводов с использованием автоматизированной системы пректирования 123
5.1 Пьезопривод для нанотехнологии 123
5.2 Устройство перемещения для нанотехнологии 125
Заключение 128
Литература 130
Приложение 140
