Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов
Алексахин Артем Владиславович. Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.13.06 / Алексахин Артем Владиславович;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»], 2018.- 149 с.