Разработка и анализ зондовых микромеханических устройств
Рехвиашвили Серго Шотович. Разработка и анализ зондовых микромеханических устройств : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01 / Рехвиашвили Серго Шотович; [Место защиты: Кабардино-Балкарский государственный университет].- Нальчик, 2004.- 212 с.: ил.