Введение
Глава 1 Обзор методов контроля преобразователей угла 7
1.1 Цифровые преобразователи угла 7
1.1.1 Классификация цифровых преобразователей угла 7
1.1.2 Контролируемые параметры ЦПУ 18
1.2 Методы контроля точности цифровых преобразователей угла 19
1.2.1 Контроль ЦПУ с помощью угломерных приборов и мер 20
1.2.2 Контроль ЦПУ с помощью образцового преобразователя угла 24
1.3 Лазерный гониометр 27
1.3.1 Обобщенная схема и принцип действия лазерного гониометра 27
1.3.2 Анализ случайной погрешности лазерного гониометра 29
1.3.3 Контроль точности ПУ с помощью лазерного гониометра 32
1.4 Выводы по главе и постановка задач исследования 34
Глава 2 Разработка лазерной гониометрической системы для контроля ЦПУ 36
2.1 Анализ технических требований к ЛГС 36
2.2 Классическая схема ЛГС для калибровки ЦПУ 39
2.3 Методы увеличения точности измерений ЛГС 43
2.3.1 Метод кросс-калибровки в задаче увеличения точности ЛГС 43
2.3.2 Метод кросс-калибровки с применением Фурье-анализа в задаче увеличения точности контроля преобразователей угла 48
2.4 Динамическая гониометрическая система с инкрементным ЦПУ в качестве образцового преобразователя угла 61
2.4 Применение ДГС при разработке высокоточных ЦПУ 65
2.5 Расширение диапазона рабочих угловых скоростей ЛДГ 76
2.6 Выводы по главе 81
Глава 3 Функция распределения результата измерения угла и достоверность кода ЦПУ 83
3.1 Реальные распределения погрешностей ЦПУ 85
3.2 Идентификация формы закона распределения погрешности 88
3.2.1 Построение гистограммы 91
3.2.2 Критерий согласия Пирсона 92
3.3 Достоверность кода 96
3.4 Исследования случайной погрешности ЛГС 98
3.4.1 Статистическое распределение результатов измерений 98
3.4.2 Функция распределения единичного результата измерений... 100
3.5 Экспериментальное определение достоверности кода ЦПУ 109
3.6 Выводы по главе 111
Глава 4 Методы измерения динамической погрешности ЦПУ 112
4.1 Оценка динамической погрешности преобразователя угла 112
4.2 Анализ основных источников динамической погрешности ЛГС .115
4.2.1 Оценка динамической погрешности кольцевого лазера 116
4.2.2 Оценка динамической погрешности нуль-индикатора 119
4.2.3 Оценка полной динамической погрешности ЛГС 121
4.3 Методика измерения динамической погрешности ЦПУ 122
4.4 Динамическая погрешность фотоэлектрического кодового ЦПУ 123
4.5 Динамическая погрешность кодового ЦПУ, выполненного на основе СКВТ 125
4.6 Динамическая погрешность инкрементных ПУ 131
4.6.1 Преобразователь угла RON-905 131
4.6.2 Преобразователь ПКГ-105М 133
4.7 Выводы по главе 135
Заключение 136
Список литературы 137
