Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
Кеменов, Владимир Николаевич. Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.07.- Москва, 2000.- 42 с.: ил.
