Введение
ГЛАВА I. Безмасляные вакуумные насосы 11
1.1. Типы безмасляных вакуумных насосов 11
1.2. Профилирование роторов бесконтактных двухроторных насосов 27
1.2.1. Теоретическое профилирование 28
1.2.2. Действительное профилирование 31
1.3. Методики определения перетечек через щелевые каналы 32
1.4. Задачи исследования 40
ГЛАВА II. Разработка кулачково-зубчатого вакуумного насоса 42
2.1. Конструкция разработанного КЗВН 42
2.2. Теоретический профиль роторов. Анализ влияния основных геометрических размеров КЗВН на его характеристики 44
2.3. Действительное профилирование роторов КЗВН 53
ГЛАВА III. Экспериментальное исследование откачных характеристик КЗВН 56
3.1. Программа испытаний и описание экспериментального стенда 56
3.2. Методика проведения испытаний и результаты измерений 59
3.3. Оценка погрешности измерений 65
ГЛАВА IV. Исследование проводимости щелевых ка налов бесконтактных вакуумных насосов 69
4.1. Экспериментальное исследование проводимости щелевых ка налов 69
4.1.1. Описание экспериментального стенда для исследования проводимости щелевых каналов 70
4.1.2. Методика измерений 73
4.1.3. Результаты измерений и их обсуждение 73
4.2. Расчет проводимости щелевых каналов при малых перепадах давлений в ламинарном режиме течения 79
4.3. Расчет проводимости щелевых каналов при произвольных перепадах давлений в ламинарном режиме течения 84
4.4. Методика расчета проводимости каналов, образованных криволинейными стенками произвольной геометрии 100
ГЛАВА V. Методика расчета откачных характеристик КЗВН 109
5.1. Основные положения и допущения математической модели 109
5.2. Описание математической модели и ее реализации на ЭВМ 110
5.3. Результаты моделирования откачных характеристик КЗВН 119
Основные
Результаты и выводы 121
Список использованной литературы 122
Приложение
