Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники
Серов Александр Алексеевич. Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.12.- Москва, 2001.- 232 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/537-5
