Разработка и исследование методов и средств измерений линейных размеров и твердости с применением полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования

Соловьев, Владимир Витальевич. Разработка и исследование методов и средств измерений линейных размеров и твердости с применением полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.15 / Соловьев Владимир Витальевич; [Место защиты: Федер. гос. унитар. предприятие Всерос. науч. центр "Гос. опт. ин-т им. С.И. Вавилова"].- Москва, 2010.- 152 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/624