Разработка и исследование наносекундной лазерной микротехнологии формирования оптоэлектронных структур
Чесноков, Дмитрий Владимирович. Разработка и исследование наносекундной лазерной микротехнологии формирования оптоэлектронных структур : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.05.- Новосибирск, 2000.- 156 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-5/2195-2