Введение
1. Методы управления оптическими лучами 10
1.1. Классификация методов управления оптическими лучами в пространстве 10
1.2. Параметры дефлекторов 10
1.3. Основные типы дефлекторов и их параметры
1.3.1. Электрооптические дефлекторы 14
1.3.2. Дискретные поляризационные дефлекторы 14
1.3.3. Жидкокристаллические дефлекторы 14
1.3.4. Ультразвуковые дефлекторы 14
1.3.5. Оптико-механические дефлекторы 15
1.3.6. Магнитоэлектрические (гальванометрические) дефлекторы 15
1.3.7. Пьезоэлектрические дефлекторы 16
1.3.8. Таблица основных параметров дефлекторов разных типов 17
2. Микросистемные устройства и технологии 18
2.1. Технология МЭМС (MEMS technology) 20
2.1.1. Фотолитография 20
2.1.2. Формирование структур микромеханических устройств 22
2.1.3. Легирование
2.2. Объемная микромеханика 23
2.3. Поверхностная микромеханика 25
2.4. Другие технологии 26
3. Разработка математических моделей и методов расчета оптических микромеханических устройств с магнитным управлением 33
3.1. Сравнительный анализ магнитного и электростатического крутящих моментов 35
3.2. Анализ вертикального прогиба балки (микрополоски) с закрепленными концами 37
3.3. Подвижный элемент с электромагнитным управлением 38
3.4. Подвижный элемент с магнитоэлектрическим управлением 40
3.5. Анализ крутильных колебаний подвижных элементов 43
3.6. Анализ формирования сканирующего оптического пучка и управление его пространственным положением 48
3.7. Анализ влияния искривления формы поверхности на расходимость светового пучка 51
4. Разработка микромеханических магнитоуправляемых устройств 53
4.1. Микромеханический сканер 54
4.2. Коммутатор оптических каналов 58
4.3. Сканирование спектра отраженного излучения 59
5. Экспериментальные исследования 64
5.1. Разработка технологических процессов производства микромеханических сканеров с составным зеркалом 64
5.1.1. Разработка технологии производства микромеханических структур сканера 64
5.1.2. Вариант с токовыми петлями 65
5.1.3. Вариант с микромагнитами:
5.2. Технология получения магнитных элементов на кремнивых микрополосках 67
5.3. Экспериментальный стенд 68
5.4. Исследования параметров сканеров в «старт-стопном» режиме 69
5.5. Исследования параметров сканеров в динамическом режиме 70
5.6. Методика определения угла наклона отражающих элементов 72
Заключение 75
Список работ опубликованных по теме диссертации: 79
Список цитируемых источников
