Разработка и исследование технологических основ формирования диодных ионно-легированных структур на основе карбида кремния
Рыжук Роман Валериевич. Разработка и исследование технологических основ формирования диодных ионно-легированных структур на основе карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Рыжук Роман Валериевич; [Место защиты: Технол. ин-т Юж. федер. ун-та].- Таганрог, 2010.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/3069
