Разработка и исследование технологии формирования активных диффузионных слоев элементов твердотельной электроники методом импульсной имплантации
Панченко Валерий Александрович. Разработка и исследование технологии формирования активных диффузионных слоев элементов твердотельной электроники методом импульсной имплантации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Нальчик, 2002.- 148 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2339-2
