Введение
1. Методы измерения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины тонких металлических плоских плёнок 11
1.1. Методы определения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины наноразмерных проводящих и высокоимпе-дансных плёнок в субмиллиметровом, миллиметровом и сантиметровом (СВЧ) диапазоне длин волн 17
1.2. Методы определения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины наноразмерных проводящих плёнок в видимом диапазоне 28
Выводы к главе 1 39
2. Разработка и исследование квазиоптического СВЧ метода измерения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины наноразмерных плёнок [1-3] 42
2.1. Расчёт коэффициентов отражения и пропускания наноразмерной плёнки по параметрам квазиоптического резонатора частично образованного исследуемой плёнкой 42
2.2. Разработка алгоритмов восстановления параметров комплексной диэлектрической проницаемости и (или) толщины наноразмерных металлических и высокоимпедансных немагнитных плёнок по известным коэффициентам отражения и пропускания 51
2.3. Оценка диапазона и общей погрешности измерений метода на основе квазиоптического резонатора 63
Выводы к главе 2 68
3. Модифицированная неразрушающая методика измерения в видимом диапазоне длин волн распределения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины наноразмерных плёнок по всей площади [4] 71
3.1. Разработка оптической схемы метода измерений комплексной диэлектрической проницаемости и толщины, алгоритм расчёта распределения параметров наноразмерной металлической плёнки на основе возбуждения поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ) 71
3.2. Экспериментальное исследование оптической схемы модифицированной методики измерения на основе возбуждения ПЭВ 82
Выводы к главе 3 89
4. Разработка, создание и экспериментальные исследования макета и функциональности его схемы для реализации квазиоптического метода измерения наноразмерных металлических плёнок [1] 91
4.1. Схема системы измерения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины наноразмерных плёнок 91
4.2. Экспериментальные исследования макета измерителя для измерения комплексной диэлектрической проницаемости и (или) толщины наноразмерных плёнок 96
Выводы к главе 4 102
Заключение 104
Список использованных источников 106
Приложения 121
