Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС
Горнев, Евгений Сергеевич. Разработка и внедрение промышленной субмикронной технологии СБИС : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / НИИ Микроприбор.- Москва, 2000.- 84 с.: ил.