Разработка информационного и методического обеспечения мониторинга отходов нано- и микроэлектроники
Егоркина Регина Юрьевна. Разработка информационного и методического обеспечения мониторинга отходов нано- и микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Егоркина Регина Юрьевна; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2010.- 137 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/3051