Разработка ионно-плазменных покрытий на основе нитридов и карбидов переходных металлов с регулируемой стехиометрией
Сайдахмедов Равшан Халходжаевич. Разработка ионно-плазменных покрытий на основе нитридов и карбидов переходных металлов с регулируемой стехиометрией : диссертация ... доктора технических наук : 05.02.01.- Москва, 2002.- 259 с.: ил. РГБ ОД, 71 03-5/305-6