Введение
1. Современное состояние метода магнитной силовой микроскопии 11
1.1 Сканирующая зондовая микроскопия и ее роль в микро - и нано-электронике 11
1.2 Особенности функционирования МСМ
1.2.1 Области применения МСМ 20
1.2.2 Методики измерения на основе МСМ 24
1.2.3 Возможности и ограничения МСМ 28
1.3 Кантилеверы для МСМ 31
1.3.1 Основные конструктивно и технологические методы создания кантилеверов 31
1.3.2 Покрытия для магнитных кантилеверов и способы их формирования 37
1.3.3 Параметры магнитных кантилеверов 46
1.4 Калибровочные структуры для МСМ 48
1.5 Выводы и постановка задач 53
2. Разработка конструктивно - технологических методов создания магнитных кантилеверов 56
2.1 Исследование методов формирования магнитных покрытий кантилеверов 56
2.2 Исследование влияния конструктивных параметров кантилеверов на чувствительность метода МСМ 62
2.2.1 Исследование влияния материала ферромагнитного покрытия на результаты измерений 62
2.2.2 Исследование влияния толщины магнитного покрытия на чувствительность метода 72
2.2.3 Исследование влияния жесткости балки кантилевера на чувствительность метода
2.2.4 Исследование коррозионной стойкости магнитных канти леверов 81
2.3 Разработка технологии магнитного кантилевера с вискером 89
2.4 Выводы 97
3. Разработка технологии создания калибровочных структур для МСМ 99
3.1 Тестовые структуры на основе неупорядоченных наноразмерных магнитных объектов 99
3.2 Тестовые структуры на основе упорядоченных наноразмерных магнитных объектов
3.3 Выводы 114
4. Исследование методик проведения измерений на основе МСМ 115
4.1 Методика проведения измерений на основе МСМ 115
4.2 Исследование магнитных свойств образцов во внешнем магнитном поле 118
4.3 Исследование магнитных свойств образцов с использованием разработанных кантилеверов 121
4.4 Выводы 129
Основные результаты и выводы 130
Список использованных источников
