Введение
1. Сканирующие зондовые микроскопы. краткое описание 13
2. Современное состояние наноиндустрии в россии в применении к СЗМ 19
2.1. Нанотехнологическая установка «Луч-2» 19
2.2. Установка «Femto Scan» 21
2.3. Установка СММ-2000 24
2.4. Микрозондовая приставка высокого разрешения для растровых электронных микроскопов МПВРРЭМ 25
2.5. Установка GPI300 27
2.6. Вакуумный СЗМ комплекс «Ntegra Aura» 30
2.7. СЗМ комплекс температурных измерений «Ntegra Therma» 31
2.8. СЗМ «Solver HV» 32
2.9. Выводы по главе 33
3. Анализ СЗМ, работающих в условиях низких температур. основные подходы, используемые при разработке данного вида оборудования 34
3.1. Установки, в которых НТ ступень расположена в вакуумной камере 35
3.2 Установки, в которых НТ ступень расположена в сосуде Дьюара 46
3.З. Серийно выпускаемые сверхвысоковакуумные НТ СЗМ 68
3.4. Выводы по главе 72
4. Разработка конструкции установки 73
4.1. Необходимые условия для проведения эксперимента 73
4.2. Состав оборудования установки. Принципиальная схема 78
4.3. Тестирование сканера при атмосферном давлении и комнатной температуре. Сравнение результатов с результатами, полученными на аналогичном оборудование 89
4.4. Итоги 96
5. Подготовка образцов 98
Выводы по главе 106
6. Расчет вакуумной системы и системы криостатирования 107
6. 1. Тепловой расчет 107
6.2. Вакуумный расчет установки 111
6.2.1 Упрощенный вакуумной расчет по аналитическим соотношениям 113
6.2.2. Численный вакуумный расчет 116
6.3. Выводы по главе 120
Приложение
