Введение
Глава 1. Современное состояние вопроса и задачи исследования 17
1.1. Анализ современных безмасляных вакуумных насосов и оценка проблемы их работы в молекулярно-вязкостном режиме течения газа... 17
1.2. Принцип действия безмасляного молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 22
1.3. Выбор и обоснование метода расчета безмасляного молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 28
1.4. Расчет параметров течения газа в проточной части молекулярного вакуумного насоса с помощью CFD 53
1.5. Постановка цели и задачи исследования 62
Глава 2. Разработка математической модели процесса откачки газа и метода расчета откачных параметров молекулярно-вязкостного вакуумного насоса
2.1. Расчетная схема течения газа в проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 68
2.2. Основные допущения 69
2.3. Область применения математической модели процесса откачки газа молекулярно-вязкостным вакуумным насосом 70
2.4. Определение скорости газа в каналах проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 74
2.5. Расчет основных откачных параметров молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 85
2.6. Метод расчета откачных параметров молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 89
Глава 3. Экспериментальное исследование безмасляного молекулярно–вязкостного вакуумного насоса .
3.1. Конструктивная и принципиальная схемы экспериментального стенда 91
3.2. Методика использования метрологического обеспечения экспериментального стенда 99
3.3. Методика экспериментального определения основных параметров откачной характеристики молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 103
3.4. Оценка погрешности измерения в экспериментах 105
3.5. Экспериментальные данные 107
Вывод к Главе 3 114
Глава 4. Влияние основных параметров проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса на его откачную характеристику 115
4.1. Влияние окружной скорости на периферии ротора на течение газа в проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 115
4.2. Влияние воздействия поверхности канала на течение газа в проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 116
4.3. Влияние геометрических параметров каналов в проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 120
4.4. Конструктивные схемы молекулярно-вязкостного вакуумного насоса 128
4.5. Сравнение откачных характеристик молекулярно-вязкостного вакуумного насоса с другими типами вакуумных насосов 146
Вывод к Главе 4 151
Основные результаты и выводы 152
Список литературы
