Разработка метода молекулярного наслаивания для синтеза сверхтонких пленок халькогенидов металлов
Железнякова Анастасия Вячеславовна. Разработка метода молекулярного наслаивания для синтеза сверхтонких пленок халькогенидов металлов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Железнякова Анастасия Вячеславовна; [Место защиты: ГОУВПО "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)"].- Зеленоград, 2008.- 132 с.: ил.