Разработка методики расчета и проектирования упругого элемента тензодатчика на структуре "Кремний на сапфире"
Скворцов Павел Аркадьевич. Разработка методики расчета и проектирования упругого элемента тензодатчика на структуре "Кремний на сапфире": диссертация ... кандидата Технических наук: 01.02.06 / Скворцов Павел Аркадьевич;[Место защиты: ФГБУН Институт машиноведения им. А.А. Благонравова Российской академии наук], 2019