Разработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборов
Мирсаетов, Олег Марсимович. Разработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборов : диссертация ... кандидата технических наук в форме науч. докл. : 01.04.01, 05.11.14.- Ижевск, 2000.- 48 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/1582-3
