Введение
ГЛАВА 1. Исследование возможности контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических элементов на стадиях шлифования интерференционным методом . 10
1.1. Анализ существующих схем построения интерференционных систем контроля формы крупногабаритных оптических деталей 10
1.1.1. Обоснование выбора рабочей длины волны излучения в лазерном интерферометре для контроля оптических деталей на стадиях шлифования 25
1.2. Исследование характеристик оптических шероховатых поверхностей 29
1.3.Статистический анализ профилей оптических шероховатых поверхностей 41
1.4. Анализ процесса рассеяния монохроматической волны шероховатой оптической поверхностью 48
1.5. Исследование процесса интерференции при контроле оптических шероховатых поверхностей
в неравноплечем интерферометре Тваймана - Грина 63
ГЛАВА 2. Анализ процесса формирования спекл структуры и её влияние на качество изображения интерференционной картины, формируемой лазерным интерферометром . 77
2.1. Анализ процесса формирования спекл структуры в изображении интерференционной картины 78
2.2. Анализ статистических характеристик спекл - структуры в изображении интерференционной картины 82
2.3. Исследование влияния временной когерентности лазерного излучения на контраст спекл - структуры интерференционной картины. 92
2.4. Исследование возможности повышения качества изображения интерференционных картин за счёт подавления спекл - шума 104
ГЛАВА 3. Разработка опытного образца лазерного ик-интерферометра и анализ результатов его экспериментальных исследований . 119
3.1. Разработка компоновочной схемы и технического облика макетного образца лазерного интерферометра для контроля формы и качества оптических шлифованных поверхностей 120
3.2. Разработка оптической схемы макетного образца неравноплечего лазерного ИК - интерферометра Тваймана - Грина 129
3.3. Анализ результатов измерений форм шлифованных оптических поверхностей при помощи макетного образца лазерного ИК - интерферометра 153
3.4. Методика измерений параметров микронеровностей контролируемых шлифованных оптических поверхностей при помощи макетного образца лазерного ИК — интерферометра 164
Выводы и заключение 170
Список литературы 173
