Введение
Глава 1. Нестационарные методы исследования физических свойств пленок и тонких фолы- с использованием излучения лазеров 10
1.1. Методы, основанные на однократном импульсном нагреве 10
1.1.1, Классические методы 10
1.1.2. Методы, использующие неоднородность пространственного распределения излучения 15
1.2. Методы, основанные на синусоидальном нагреве
1.2.1. Классические методы 17
1.2.2. Методы, использующие неоднородность пространственного распределения излучения 22
1.3. Методы, основанные на периодическом импульсном нагреве 23
1.4. Нестационарные методы исследования тепловой проводимости границы раздела плен ка-подложка 27
1-5. Влияние процессов релаксации па перенос тепла 33
1.6. Выводы 35
Глава 2. Особенности постановки линейных краевых задач, моделирующих нагрев излучением лазера. Основные определения 37
2.1. Пространственная и временная составляющие плотности поглощен-ной мощности интенсивных лазерных источников тепла 37
2.2. Линеаризация математической модели 44
2.3. Тепловые импульсы и температурные волны 45
2.4. Выход на квазистационарный тепловой режим 53
2.5. Выводы 56
Глана 3. Нагрев конденсированных сред излучением лазера, работающего в периодическом импульсном режиме 57
3.1. Осциллирующая составляющая к ваз и стационарно го температурного поля, возникающая в полу ограниченном теле при периодическом им пульсном нагреве 57
3.2. Осциллирующая составляющая квази стационарного температурного поля, возникающая в пленках и тонких фольгах при периодическом им пульсном нагреве 60
3.3. Осциллирующая составляющая квазистационарного температурного ноля с учетом процесса релаксации термически активируемых дефектов 68
3.4. Выводы 72
Глава 4. Периодический импульсный нагрев системы пленка-подложка излучением лазера 73
4.1. Осциллирующая составляющая квазистационарного температурного поля в системе 73
4.2. Результаты математическою моделирования осциллирующей составляющей квазистационарного температурного поля в системе пленка-подложка 75
4.3. Выводы 83
Глава 5. Векторный подход к исследованию осциллирующей составляющей квазистационарного температурного поля S4
5.1. Переход к векторному представлению осциллирующей составляющей. Частотная и временная характеристика образца 84
5.2. Спектральный анализ осциллирующей составляющей температурного поля полу ограниченного образца 86
5.3. Спектральный анализ осциллирующей составляющей температурного поля в пленках и топких фольгах 89
5.4. Спектральный анализ осциллирующей составляющей температурного поля в системе пленка-подложка 96
5.5. Выводы 102
Глава 6. Экспериментальная часть 103
6.1. Аппаратура для исследования релаксационных свойств конденсированных сред и тепловой иронодимоети границы раздела подложка с использованием периодического импульсного излучения лазеров 103
6.2.1. Исследование влияния конечного времени релаксации термически активируемых дефектов на коэффициент затухания осциллирующей составляющей кв аз и стационар ного температурного поля в тонких вольфрамовых образцах 107
6.2.2. Исследование влияние облучения высокоэнергетическими электронами на величину тепловой проводимости в системе W пленка (0,8 мкм)-Si подложка (0,7 мм) 110
6.2.3. Исследование влияния на величину тепловой проводимости границы раздела в системе В (10 мкм) - Si (0,7 мм) процессов массопереноса под действием облучения высокоэнергетичеекими электронами 114
6.3. Выводы 117
Заключение 118
Список использованных источников
