Введение
Глава 1 Сравнительный анализ методов и средств контроля параметров высокочистой воды в производстве изделий микроэлектроники 19
1.1. Методы и средства контроля интегральных характеристик. 23
1.1.1. Величина удельной электропроводности 23
1.1.2. Величина рН 25
1.2. Методы и средства контроляj pruHmecKHx загрязнений... 27
1.2.1. Эмиссионные и абсорбционные методы пламенной фотометрии 29
1.2.2. Спектрофотометрические и флуорометрические методы анализа 33
1.2.3. Методы масс-спектрального анализа 38
1.2.4. Методы эмиссионного рентгеноспектрального анализа 41
1.2.5. Электрохимические методы анализа 43
1.3. Сравнительные характеристики методов и средств контроля
органических загрязнений 50
1.3.1. Жидкофазное окисление 51
1.3.2. Разложение органических веществ под действием УФ-излучений 51
1.3.3. Определение общего органического углерода «сухим» сожжением 53
1.3.4. УФ-спектрофотометрия 57
1.3.5. Флуорометрические методы анализа 57
1.3.6. Электрохимические методы анализа 59
1.5. Выводы и постановка задач исследований 61
Глава 2 Теоретические и экспериментальные аспекты создания методов контроля высокочистой воды 63
2.1. Особенности технологических схем получения высокочистой
воды на предприятиях электронной промышленности з
2.1.1. Ионообменная деионизация в технологии получения высокочистой воды 66
2.1.2. Источники примесей и загрязнений в воде, полученной методами ионообменной деионизации 71
2.2. Теория аналитического сигнала в методе контроля органических загрязнений - методе ИВ 73
2.2.1. Исследование влияния органических загрязнений на величину аналитического сигнала в методе ИВ 74
2.2.2. Исследование влияния механизма и кинетики электродных процессов на величину аналитического сигнала в присутствии органических загрязнений 83
2.2.3. Методология расчета адсорбционных параметров органических поверхностно-активных веществ по электрокапиллярным измерениям 87
Выводы 92
Глава3 Шинципьі создания средств контроля параметров технологии водоподготовки для производства изделий микроэлектроники 93
3.1. Анализ модификаций блоков глубокой очистки воды от
органических загрязнений 93
3.1.1. Исследования по идентификации и определению органических загрязнений в высокочистой воде, полученной ионообменной деионизацией на предприятиях ЭП г. Зеленограда 92
3.1.2. Исследования по глубокой очистке воды от органических загрязнений на предприятиях ЭП 101
3.2. Анализ модификаций блоков аналитического контроля неорганических загрязнений
3.2.1. Средства экспрессного высокочувствительного контроля неорганических загрязнений 105 3.2.2. Обобщенные структурные схемы многоканального вольтамперометрического анализатора МВА-РК 107
3.3. Анализ модификаций блоков аналитического контроля органических загрязнений 114
3.3.1. Средства экспрессного высокочувствительного контроля органических загрязнений 115
3.3.2. Методология экспрессного высокочувст-вительного контроля органических загрязнений 117
Выводы 119
4. Опытно-промышленные испытания методов и средств контроля параметров водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники 120
4.1. Результаты опытно-промышленных испытаний методов и средств определения неорганических загрязнений в высокочистой воде 120
4.1.1. Средства контроля неорганических загрязнений 122
4.1.2. Методика метрологической оценки результатов определений 132
4.1.3. Результаты опытно-промышленных испытаний методик КХА неорганических загрязнений 138
4.2. Результаты опытно-промышленных испытаний методов и средств определения органических загрязнений в высокочистой воде 140
4.2.1. Особенности методологии контроля органических загрязнений 140
4.2.2. Методика КХА контроля органических загрязнений. 144
4.2.3. Расчеты экономической эффективности новой технологии водоподготовки 146
Выводы 155
Заключение 156
Литература 158
