Введение
1. Анализ принципов построения интегральных микромеханических сенсоров угловых скоростей, линейных ускорений и микромеханических зеркал 16
1.1. Принципы работы и конструкции микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений 16
1.2. Принципы работы и конструкции микромеханических зеркал 37
1.3. Устройства обработки сигналов микромеханических компонентов 42
1.4. Выводы 54
2. Разработка методов построения и проектирования интегральных микромеханических двухмассовых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений LL-типа 56
2.1. Метод построения и конструкции микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений LL-типа 56
2.2. Моделирование сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений LL-типа с двумя осями чувствительности 67
2.3. Выводы 104
3. Разработка методов построения и проектирования интегральных микро- и наномеханических одномассовых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений LL-типа 106
3.1. Методы построения и конструкции микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений 106
3.2. Моделирование сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений LL-типа 118
3.3. Исследование влияния технологических погрешностей на собственные частоты колебаний упругого подвеса сенсора 157
3.4. Выводы 159
4. Разработка методов построения и проектирования интегральных микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя осями чувствительности 161
4.1. Методы построения и конструкции двухосевых микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений 161
4.2. Моделирование двухосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений LR-типа 177
4.3. Выводы 213
5. Разработка методов построения и проектирования интегральных микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с тремя осями чувствительности 215
5.1. Методы построения и конструкции микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с тремя осями чувствительности 215
5.2. Моделирование трехосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений 227
5.3. Исследование влияния технологических погрешностей на собственные частоты колебаний упругих подвесов чувствительных элементов 247
5.4. Экспериментальные образцы трехосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений
с тремя осями чувствительности 248
5.5. Выводы 250
6. Разработка методов построения и проектирования интегральных микромеханических зеркал 252
6.1. Методы построения и конструкции микромеханических зеркал 252
6.2. Моделирование микромеханических зеркал с крестообразным внутренним подвесом 259
6.3. Моделирование микромеханических зеркал с интегрированным внутренним подвесом 273
6.4. Выводы 290
7. Разработка и исследование устройств обработки сигналов микро- и наномеханических компонентов .292
7.1. Моделирование устройств обработки сигналов микро- и наномеханических компонентов 292
7.2. Экспериментальные исследования макетов устройств
обработки сигналов микро- и наномеханических компонентов 301
7.3. Выводы 303
8. Разработка обобщенного метода и методики проектирования микро- и наномеханических компонентов 304
8.1. Обобщенный метод и методика проектирования микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, микромеханических зеркал 304
8.2. Методика построения геометрических моделей хиральных углеродных нанотрубок 325
8.3. Выводы 328
Заключение 331
Список использованных источников
