Введение
1 Конструктивные схемы, дифференциальные уравнения движения и технология изготовления чувствительных элементов микромеханических акселерометров 26
1.1 Общая характеристика конструкций микромеханических акселерометров 26
1.2 Микромеханические акселерометры с поступательным движением чувствительного элемента 28
1.3 Микромеханические акселерометры с вращательным движением чувствительного элемента 35
1.4 Технология изготовления МЭМС структур 42
1.5 Выводы 59
2 Анализ динамики чувствительного элемента маятникового микромеханического акселерометра при вибрационных воздействиях 59
2.1 Амплитудно-частотные характеристики чувствительного элемента маятникового ММА и их зависимость от параметра затухания 60
2.2 Постоянное смещение чувствительного элемента маятникового ММА при действии вибрационного воздействия и его зависимость от параметра затухания 74
2.3 Анализ динамики чувствительного элемента маятникового ММА при прохождении через резонанс 78
2.4 Выводы 94
Анализ динамики чувствительного элемента осевого микромеханического акселерометра при вибрационных воздействиях 95
3.1 Амплитудно-частотные характеристики чувствительного элемента осевого ММА и их зависимость от параметра затухания 95
3.2 Постоянное смещение чувствительного элемента осевого ММА при действии вибрационного воздействия и его зависимость от параметра затухания 105
3.3 Анализ динамики чувствительного элемента осевого ММА при прохождении через резонанс 109
3.4 Выводы 124
4 Конечно-элементный анализ чувствительных элементов маятникового и осевого микромеханических акселерометров 125
4.1 Метод конечных элементов 125
4.2 Собственные частоты и АЧХ чувствительных элементов маятникового и осевого ММА 129
4.3 Анализ влияния температурных факторов на динамические характеристики чувствительных элементов маятникового и осевого ММА 134
4.4 Анализ влияния вибрационных воздействий на чувствительные элементы маятникового и осевого ММА 139
4.5 Анализ влияния ударных воздействий на чувствительные элементы маятникового и осевого ММА 143
4.6 Анализ влияния ориентации кремниевой структуры на технические характеристики ММА 160
4.7 Сравнение результатов аналитического метода и метода конечных элементов. Исследование экспериментальных образцов 169
4.8 Выводы 173
Заключение 174
Библиографический список 176
