Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники

Терентьев Сергей Александрович. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10, 05.27.01.- Саратов, 2002.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2086-2
Автор
Терентьев Сергей Александрович
Год
2002

  • 99 000 UZS

Рекомендуем вам товары

Микроволновые электротехнологические установки равномерного нагрева термопараметрических, поглощающих СВЧ мощность диэлектрических материалов
99 000 UZS
Автор
Бабак Вячеслав Владимирович
Количество страниц
Год
2001
Исследование и разработка индукционных нагревателей в линиях непрерывной термической обработки стальной ленты
99 000 UZS
Автор
Злобина Марина Викторовна
Количество страниц
Год
2001
Моделирование и разработка автоматизированной индукционной закалочной установки крупногабаритных валков прокатных станов
99 000 UZS
Автор
Перевалов Юрий Юрьевич
Количество страниц
Год
2017
Энергоэффективные технологии с применением индукционного нагрева в трубной промышленности
99 000 UZS
Автор
Андрушкевич Владислав Витальевич
Количество страниц
Год
2016
Исследование и разработка энергосберегающих технологий индукционного нагрева легких сплавов
99 000 UZS
Автор
Растворова Ирина Ивановна
Количество страниц
Год
2015
Новостной блок
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3