Введение
1. Обзор литературы по методам анализа атомарного и молекулярного состава вещества в газовой фазе 11
1.1 Методы оптической и масс-спектроскопии 11
1.2 Методы электронной спектроскопии 14
1.3 Методы плазменной электронной спектроскопии 17
2. Физические принципы метода столкновительной электронной спектроскопии (Collisional .Electron Spectroscopy - CES) 27
2.1. CES как метод анализа энергии электронов в условиях столкновений при изотропном распределении вектора импульса, правила подобия для детекторов CES 27
2.2. Микроплазменный анализатор CES в режиме послесвечения импульсного разряда 32
2.3. Вариант детектора CES для анализа металлических и жидких образцов 38
2.4. Микроплазменный анализатор CES для работы в постоянном режиме 41
2.5. Результаты моделирования микроплазменного анализатора CES с газовым разрядом в Не при повышенном давлении 46
3. Экспериментальное исследование спектров энергии электронов в микроплазменном варианте детектора CES 73
3.1. Электрофизическая установка для исследования спектров энергии электронов в микроплазменном детекторе CES 73
3.2. Схема микропроцессорной системы управления и регистрации микроплазменного детектора CES 76
3.3. Особенности программного обеспечения для микропроцессорной системы управления и регистрации микроплазменного детектора CES 79
3.4. Результаты экспериментов по регистрации спектров энергии электронов в послесвечении разряда в гелии методом CES 81
3.5. Оценка аналитических возможностей метода CES 94
4. Анализ функции распределения электронов по энергии (ФРЭЭ) в ВУФ-фотоионизационном варианте детектора CES 96
4.1. Конструктивные особенности ВУФ-фотоионизационного анализатора CES 96
4.2. Моделирование физических процессов и электронных спектров в фотоионизационном детекторе CES 102
4.3. Схема микропроцессорной системы управления и регистрации ВУФ-фотоионизационного анализатора CES 108
4.4. Анализ электронных спектров и рабочих параметров фотоионизационного детектора CES 111
5. Об определении ФРЭЭ в детекторе CES с помощью процедуры двойного дифференцирования сплайн-аппроксимированных кривых «ток-напряжение» 115
5.1. Алгоритмы МНК-аппроксимации сплайнами 3-го порядка и двойного дифференцирования сигналов детектора CES 115
5.2. Программное обеспечение для реализации метода МНК-аппроксимации сплайнами и двойного дифференцирования 116
5.3. Определение предела разрешающей способности метода 119
Заключение 123
Литература 125
